上证报永利欢乐娱人城证券网讯 近日，天准科技参股的苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）重磅宣布，其首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户。此次推出明场缺陷检测设备是矽行半导体实现的重要突破，也代表着永利欢乐娱人城在半导体光学检测设备领域迈出了更加坚实的一步。

　　在半导体制造流程中，前道瑕疵检测是当之无愧的关键工序之一，尤其是明场缺陷检测，能够检测更广泛的缺陷类型，是其中最为关键的一环，是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的保障。同时，明场缺陷检测设备也是技术难度最高的前道检测设备，一直以来被国外龙头企业垄断，而矽行半导体就是为了打破这个局面而生的。

　　TB1000实现了精密光机电关键核心部件的自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比，显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度。对于天准科技而言，TB1000的面世，进一步完善了公司在半导体领域的产品版图。